基本信息
| 标准名称： | 半导体用透明石英玻璃器件 |
| 英文名称： | Transparent quartz glass devices for semiconductor |
| 中标分类： | 建材 >> 陶瓷、玻璃 >> 石英玻璃 |
| ICS分类： | 玻璃和陶瓷工业 >> 玻璃 >> 玻璃产品 |
| 替代情况： | 替代JC/T 181-1981 (1996) |
| 发布部门： | 中华人民共和国工业和信息化部 |
| 发布日期： | 2011-12-20 |
| 实施日期： | 2012-07-01 |
| 首发日期： | |
| 作废日期： | |
| 归口单位： | 全国工业玻璃和特种玻璃标准化技术委员会 |
| 起草单位： | 中国建筑材料检验认证中心、中国建筑材料科学研究总院 |
| 出版社： | 建材工业出版社 |
| 出版日期： | 2012-07-01 |
适用范围
本标准规定了半导体用透明石英玻璃器件的术语和定义、分类和标记、材料、要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输和贮存。
本标准适用于半导体行业生产中使用的透明石英玻璃器件，包括透明石英玻璃扩散管、透明石英玻璃舟、透明石英玻璃保温桶、透明石英托架、透明石英瓶、透明石英清洗缸等。其它用途的透明石英玻璃器件可参照本标准。
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所属分类： 建材 陶瓷 玻璃 石英玻璃 玻璃和陶瓷工业 玻璃 玻璃产品